榆林卫为军事建制，卫内不设行政区划。卫属范围，由军事单位统行行政事务。当时榆林卫辖地，相当于今定边、靖边、安边、吴起、横山，榆林全境地和神木、府谷两县长城北部地区，东西长一千七百七十七里，南北宽约一百至三百多里不等。辖有：灰沟营、黄甫川堡、木瓜堡、孤山堡、镇羌堡、永兴堡、大柏油堡、皖林堡、高家堡、建安堡、双山堡、常乐堡、保宁堡、归德堡、鱼河堡、响水堡、波罗堡、怀远堡、威武堡、清平堡、镇静堡、砖井堡、新兴堡、石劳池堡、绕阳水堡、三山堡、盐场堡等诸堡；镇城、龙州、忻都等城和镇羌所；清水营、黑山营、靖边营、宁塞营、旧安边营、定边营等诸营，以及杨家城、白城子、灰城子、碎金镇、柳树涧、乱井儿、沙河岔。半坡山、伊克锡巴尔、黑河墩、平山墩、乾沟墩等地。

榆林卫分东、中、西三路。东路驻地神木堡，辖建安堡以东至灰沟营以西地；中路驻地常乐堡，辖建安堡以西，清平堡以东地；西路驻地安边营，辖龙州以西、盐场堡以东地。

清初沿袭明制，榆林仍为延绥镇榆林卫。康熙元年（1662）将西路并人中路。雍正二年（1724）撤榆林卫，设延绥道。九年（1731）设榆林府，将属地东路部分划给神木、府谷两县分属，将中路双山堡、常乐堡、归德堡、鱼河堡、保宁堡（镇川堡归保宁堡属管）五堡和镇城划为榆林县。以西部分划为怀远、定边、靖边三县，建安堡划分属葭州。延绥道、榆林府、榆林县的治所均在榆林城。年末撤延绥道，改中路为榆葭路，东路归延绥邮州路。乾隆二十六年（1761）合并为延榆绥道。二十七年（1762）将葭州属之建安堡划归榆林县。